分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種：單頻激光干涉儀：在20世紀60年代中期出現(xiàn)，**初用于檢定基準線紋尺，后用于在計量室中精密測長。它對環(huán)境要求較高，周圍大氣需處于穩(wěn)定狀態(tài)，以避免空氣湍流對測量結(jié)果的影響。雙頻激光干涉儀：出現(xiàn)于1970年，適宜在車間中使用。它應用頻率變化來測量位移，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，因此抗干擾能力強。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度，也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統(tǒng)。三、應用它通常用于高精度的位移、振動、形變等物理量的測量。蘇州定制雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家

環(huán)境適應力強：雙頻激光干涉儀采用交流放大器對干涉信號進行放大，即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。因此，它既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內(nèi)使用，也可在普通車間內(nèi)為大型機床的刻度進行標定。實時動態(tài)測速高：現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s，有的甚至達到十幾m/s，適于高速動態(tài)測量。三、應用領(lǐng)域幾何量精密測量：用于長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測量。同時，既支持幾十米大量程的檢測（如大型機械），也可對手表零件等微米級運動進行測量。姑蘇區(qū)定制雙頻激光干涉儀選擇而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點，它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。

截止***，激光干涉儀引力波探測器已經(jīng)發(fā)展了40余年。 目前LIGO激光干涉儀實驗宣稱***直接測量到了引力波 (LIGO collaboration 2016) [7]。 LIGO可以認為是兩路光線的干涉儀， 而另外一類引力波探測實驗， 脈沖星測時陣列則可認為是多路光線干涉儀（Hellings 和Downs, 1983） [8]。其他用作高分辨率光譜儀。法布里-珀**涉儀等多光束干涉儀具有很尖銳的干涉極大，因而有極高的光譜分辨率，常用作光譜的精細結(jié)構(gòu)和超精細結(jié)構(gòu)分析。歷史上的作用。19世紀的波動論者認為光波或電磁波必須在彈性介質(zhì)中才得以傳播，這種假想的彈性介質(zhì)稱為以太。

邁克爾遜干涉儀，是1881年美國物理學家邁克爾遜和莫雷合作，為研究“以太”漂移而設(shè)計制造出來的精密光學儀器。它是利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實現(xiàn)干涉。通過調(diào)整該干涉儀，可以產(chǎn)生等厚干涉條紋，也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。主要用于長度和折射率的測量，若觀察到干涉條紋移動一條，便是M2的動臂移動量為λ/2，等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2。在近代物理和近代計量技術(shù)中，如在光譜線精細結(jié)構(gòu)的研究和用光波標定標準米尺等實驗中都有著重要的應用。利用該儀器的原理，研制出多種**干涉儀。 [1]接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器，不用直流放大，故沒有零點漂移等問題。

非接觸式測量：激光干涉儀可以不接觸物體表面就測量其形狀，這對于測量易碎或精細的物體非常有用。多功能性：激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作?？垢蓴_能力強：雙頻激光干涉儀對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，因此抗干擾能力強。五、注意事項與維護注意事項：儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用。在移動儀器時，應托住底座以防止導軌變形。光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放以防止發(fā)霉。光程傳播：參考光束和測量光束分別經(jīng)過不同的路徑，可能會經(jīng)過被測物體或介質(zhì)。吳中區(qū)耐用雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家

即使不做細分也可達到μm量級，細分后更可達到nm量級。蘇州定制雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家

激光干涉測量儀是一種基于激光干涉原理的高精度計量儀器，廣泛應用于工程與技術(shù)科學領(lǐng)域 [1-2]。該儀器通過測量激光波長變化實現(xiàn)幾何量的檢測，具備抗干擾能力強、精度高等特點。主要應用場景包括數(shù)控機床校準、三坐標機校準、光學平臺校準等，通過與不同光學組件結(jié)合，可檢測線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月，激光干涉測量儀的技術(shù)參數(shù)包括 [1]：標準量程：0-40米測量精度：±0.5 ppm分辨率：1納米比較大速率：240米/分鐘角度測量精度：0.2%蘇州定制雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家

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